如何選擇合適的真空泵

　 2020-11-16　 872

文章摘要：大家都知道真空泵，真空泵在各個行業都很流行，從而刺激了真空泵行業的快速發展。市面上的真空泵種類和款式多種多樣，被各種商家吹得天花亂墜，很多人都猶豫買不買。那么應該如何選擇合適的真空…...

大家都知道真空泵，真空泵在各個行業都很流行，從而刺激了真空泵行業的快速發展。市面上的真空泵種類和款式多種多樣，被各種商家吹得天花亂墜，很多人都猶豫買不買。那么應該如何選擇合適的真空泵，又是根據什么標準呢？

1.真空泵的工作壓(ya)力(li)應滿足真空度和真空設備工作壓(ya)力(li)的要求(qiu)。比如(ru)真空鍍(du)膜(mo)要求(qiu)真空度1×10-5mmHg，選擇(ze)的真空泵至少要5×10-6mmHg。泵的真空度一般選擇(ze)比真空設備高一半到一個(ge)數量(liang)級。

2.正確選擇真(zhen)空泵(beng)(beng)的(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)點。每個泵(beng)(beng)都有一(yi)個工(gong)(gong)作(zuo)壓力范(fan)圍(wei)，例如擴散泵(beng)(beng)為10-3~10-7mmHg。在(zai)(zai)如此寬的(de)(de)壓力范(fan)圍(wei)內(nei)，泵(beng)(beng)的(de)(de)抽速隨壓力而變(bian)化(hua)，其(qi)穩定(ding)工(gong)(gong)作(zuo)壓力范(fan)圍(wei)為5×10-4~5×10-6mmHg。所以泵(beng)(beng)的(de)(de)工(gong)(gong)作(zuo)點要選在(zai)(zai)這個范(fan)圍(wei)內(nei)，不能在(zai)(zai)10-8mmHg下(xia)長時間(jian)工(gong)(gong)作(zuo)。再比如鈦(tai)升華泵(beng)(beng)可(ke)以在(zai)(zai)10-2mmHg下(xia)工(gong)(gong)作(zuo)，但(dan)其(qi)工(gong)(gong)作(zuo)壓力應小于1×10-5mmHg。

3.真空泵在其工作壓力(li)下，應能(neng)排出真空設備過程(cheng)中產(chan)生的所有氣體。

4.正確組(zu)(zu)合(he)(he)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)。由(you)于真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)選(xuan)擇性抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，有(you)(you)時一臺(tai)泵(beng)(beng)(beng)不(bu)能滿足抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)要(yao)求，需要(yao)組(zu)(zu)合(he)(he)補充幾臺(tai)泵(beng)(beng)(beng)才(cai)能滿足抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)要(yao)求。例如，鈦升華(hua)泵(beng)(beng)(beng)對(dui)氫的(de)泵(beng)(beng)(beng)送速度(du)很高，但不(bu)能泵(beng)(beng)(beng)送氦，而(er)三(san)極(ji)管濺射(she)離子泵(beng)(beng)(beng)(或雙極(ji)不(bu)對(dui)稱陰極(ji)濺射(she)離子泵(beng)(beng)(beng))對(dui)氬(ya)的(de)泵(beng)(beng)(beng)送速度(du)很高。如果將兩(liang)個(ge)泵(beng)(beng)(beng)結合(he)(he)起來，真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)裝置將獲得更好的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度(du)。另外(wai)，有(you)(you)些真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)不(bu)能在大(da)氣(qi)壓下工作，需要(yao)預真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)；有(you)(you)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)(beng)出(chu)口壓力(li)低于大(da)氣(qi)壓，所以需要(yao)前置泵(beng)(beng)(beng)，所以都需要(yao)組(zu)(zu)合(he)(he)泵(beng)(beng)(beng)。

5.真空(kong)設備對油(you)(you)污的(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。如(ru)果(guo)(guo)設備嚴(yan)格要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)無(wu)油(you)(you)，則應選用(yong)各種無(wu)油(you)(you)泵(beng)，如(ru)水環泵(beng)、分(fen)子篩吸附泵(beng)、濺射離子泵(beng)、低溫泵(beng)等(deng)。如(ru)果(guo)(guo)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)不嚴(yan)格，可以選擇有油(you)(you)泵(beng)，加一些防油(you)(you)污措施，比如(ru)加冷阱、擋板、隔油(you)(you)池(chi)等(deng)。，也能滿足(zu)清(qing)潔真空(kong)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)(qiu)。

6.了解泵送(song)氣體(ti)(ti)的成分，氣體(ti)(ti)中是否(fou)含有可冷凝的蒸氣，是否(fou)有顆粒粉(fen)塵(chen)，是否(fou)有腐(fu)蝕性(xing)等。選(xuan)擇真空泵時，需要了解氣體(ti)(ti)成分，為泵送(song)的氣體(ti)(ti)選(xuan)擇相應(ying)(ying)的泵。如果氣體(ti)(ti)中含有蒸汽(qi)、顆粒和腐(fu)蝕性(xing)氣體(ti)(ti)，應(ying)(ying)考慮(lv)安裝輔助設備(bei)，如冷凝器、除塵(chen)器等。

7.真空(kong)泵(beng)排出的油蒸(zheng)氣對環境(jing)(jing)有什么(me)影響？如果不允許污(wu)染環境(jing)(jing)，可(ke)以選擇(ze)無油真空(kong)泵(beng)，或者將油蒸(zheng)汽(qi)排到室(shi)外(wai)。

8.真空泵產生的(de)振動(dong)對工藝(yi)和環(huan)境(jing)有(you)影響嗎？如果工藝(yi)不允許，選擇無振動(dong)的(de)泵或采取防(fang)振措施(shi)。

9.真空泵的價格、運(yun)行(xing)和維護(hu)成本。